TY  - RPRT
TI  - 200 mm Wafer-Scale Monolithic 3D Integration of Atomic Layer-Deposited Oxide Semiconductors
AU  - Chang Niu
AU  - Linjia Long
AU  - Luqi Zheng
AU  - Shuting Du
AU  - Jian-Yu Lin
AU  - Kisoo Nam
AU  - Zehao Lin
AU  - Chang Liu
AU  - Juanjuan Lu
AU  - Haiyan Wang
AU  - Haitong Li
AU  - Peide D. Ye
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2608.09508
ID  - 2608.09508
ER  -