TY  - RPRT
TI  - An integrated micro-thermometer for mid-infrared photothermal spectroscopy of dense materials built in a CMOS 200 mm pilot line
AU  - Sandy Mathew
AU  - Sonia Messaoudène
AU  - Adrien Poizat
AU  - Éléa Bourliaud
AU  - Marion Volpert
AU  - Jules Skubich
AU  - Stanislas Lhomme
AU  - Bertrand Bourlon
AU  - Kevin Jourde
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2608.21809
ID  - 2608.21809
ER  -