TY  - RPRT
TI  - Oxidation of Tantalum Nano-Film by Microwave Exposure
AU  - Massimiliano Zamengo
AU  - Lina Grineviciute
AU  - Hsin-Hui Huang
AU  - Haoran Mu
AU  - Julianija Nikitina
AU  - Saulius Juodkazis
AU  - Junko Morikawa
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2609.06019
ID  - 2609.06019
ER  -