TY  - RPRT
TI  - Physics-Constrained Inverse Estimation of Irradiation-Induced Strain in He-H Ion-Implanted 4H-SiC Using Nanoindentation and Finite Element Modeling
AU  - M. Bensalem
AU  - N. Daghbouj
AU  - J. Duchon
AU  - B. S. Li
AU  - A. T. AlMotasem
AU  - S. Magalhaes
AU  - A. Yie
AU  - F. Munnik
AU  - Xin Ou
AU  - W. J. Weber
AU  - T. Polcar
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2609.07157
ID  - 2609.07157
ER  -