TY  - RPRT
TI  - Mined from Scientific Literature: Process Schemas for Atomic Layer Deposition and Etching in Materials Science
AU  - Sameer Sadruddin
AU  - Eleni Poupaki
AU  - Alex Watkins
AU  - Bora Karasulu
AU  - Adriaan J. M. Mackus
AU  - Erwin Kessels
AU  - Sören Auer
AU  - Jennifer D'Souza
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2609.12139
ID  - 2609.12139
ER  -