TY  - RPRT
TI  - Enhancing Conformality in Atomic Layer Deposition through Low Growth Per Cycle
AU  - Christine Gonsalves
AU  - Jorge A. Velasco
AU  - Ahmed Othman
AU  - Ville Miikkulainen
AU  - Riikka L. Puurunen
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2609.12460
ID  - 2609.12460
ER  -