TY  - RPRT
TI  - Low Temperature Halide Assisted HVPE Growth of Single Crystal AlN Films
AU  - K. Udwary
AU  - M. Smeaton
AU  - J. S. Mangum
AU  - R. Gannon
AU  - G. Dodson
AU  - B. Tellekamp
AU  - K. L. Schulte
AU  - J. H. Leach
AU  - J. Simon
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2609.18647
ID  - 2609.18647
ER  -