TY  - RPRT
TI  - Production of a Titanium Ion Beam Using Fluorides and Fluorine-Forming Precursors in an ECR Ion Source
AU  - D. K. Pugachev
AU  - K. I. Berestov
AU  - A. E. Bondarchenko
AU  - V. N. Loginov
AU  - A. N. Lebedev
AU  - E. Yu. Kidanova
AU  - K. I. Kuzmenkov
AU  - V. E. Mironov
AU  - D. S. Podoinikov
AU  - D. S. Yakovlev
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2609.29391
ID  - 2609.29391
ER  -