TY  - RPRT
TI  - Digital Etching of Single-Crystalline Silicon Fin Barriers Down to Sub-10 nm
AU  - Yu Wu
AU  - Teun A. J. van Schijndel
AU  - Anthony P. McFadden
AU  - Wilson J. Yánez-Parreño
AU  - Raymond W. Simmonds
AU  - Christopher J. Palmstrøm
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2609.32826
ID  - 2609.32826
ER  -