TY  - RPRT
TI  - Hydrogen plasma-assisted atomic layer epitaxy of superconducting titanium nitride
AU  - Yi-Hsun Chen
AU  - Yin-Chun Huang
AU  - Zachary Degnan
AU  - David Sommers
AU  - Kaijian Xing
AU  - Manjith Bose
AU  - Eduardo Solano
AU  - David Cortie
AU  - Michael Fuhrer
AU  - Julian A. Steele
AU  - Peter Jacobson
AU  - Miin-Jang Chen
AU  - Arkady Fedorov
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2610.00956
ID  - 2610.00956
ER  -