TY  - RPRT
TI  - Sidewall Metrology Protocol for Superconducting Qubit Devices
AU  - Jørgen Garnæs
AU  - Henrik S. Guttesen
AU  - Astrid T. Rømer
AU  - Oscar Danielsson
AU  - Emily P. Duggan
AU  - Zhenhai Sun
AU  - Asen Lyubenov Georgiev
AU  - Li Wei Chang
AU  - Morten Kjaergaard
AU  - Mark Bieler
AU  - Lukas Grünhaupt
AU  - Sabbir A. Khan
PY  - 2026
UR  - https://arxiv.org/abs/2610.26223
ID  - 2610.26223
ER  -