TY  - RPRT
TI  - Towards the fabrication of phosphorus qubits for a silicon quantum computer
AU  - J. L. O'Brien
AU  - S. R. Schofield
AU  - M. Y. Simmons
AU  - R. G. Clark
AU  - A. S. Dzurak
AU  - N. J. Curson
AU  - B. E. Kane
AU  - N. S. McAlpine
AU  - M. E. Hawley
AU  - G. W. Brown
PY  - 2001
DO  - 10.1103/physrevb.64.161401
UR  - https://arxiv.org/abs/cond-mat/0104569
ID  - cond-mat/0104569
ER  -