TY  - RPRT
TI  - Encapsulation of phosphorus dopants in silicon for the fabrication of a quantum computer
AU  - L. Oberbeck
AU  - N. J. Curson
AU  - M. Y. Simmons
AU  - R. Brenner
AU  - A. R. Hamilton
AU  - S. R. Schofield
AU  - R. G. Clark
PY  - 2002
DO  - 10.1063/1.1516859
UR  - https://arxiv.org/abs/cond-mat/0208355
ID  - cond-mat/0208355
ER  -