TY  - RPRT
TI  - Self-aligned fabrication process for silicon quantum computer devices
AU  - T. M. Buehler
AU  - R. P. McKinnon
AU  - N. E. Lumpkin
AU  - R. Brenner
AU  - D. J. Reilly
AU  - L. D. Macks
AU  - A. R. Hamilton
AU  - A. S. Dzurak
AU  - R. G. Clark
PY  - 2002
DO  - 10.1088/0957-4484/13/5/330
UR  - https://arxiv.org/abs/cond-mat/0208374
ID  - cond-mat/0208374
ER  -