TY  - RPRT
TI  - Atomically precise placement of single dopants in Si
AU  - S. R. Schofield
AU  - N. J. Curson
AU  - M. Y. Simmons
AU  - F. J. Ruess
AU  - T. Hallam
AU  - L. Oberbeck
AU  - R. G. Clark
PY  - 2003
DO  - 10.1103/physrevlett.91.136104
UR  - https://arxiv.org/abs/cond-mat/0307599
ID  - cond-mat/0307599
ER  -