TY  - RPRT
TI  - Processing Issues in Top-Down Approaches to Quantum Computer Development in Silicon
AU  - S. -J. Park
AU  - A. Persaud
AU  - J. A. Liddle
AU  - J. Nilsson
AU  - J. Bokor
AU  - D. H. Schneider
AU  - I. Rangelow
AU  - T. Schenkel
PY  - 2003
DO  - 10.1016/j.mee.2004.03.037
UR  - https://arxiv.org/abs/cond-mat/0310195
ID  - cond-mat/0310195
ER  -