TY  - RPRT
TI  - Ion beam sputtering method for progressive reduction of nanostructures dimensions
AU  - M. Savolainen
AU  - V. Touboltsev
AU  - P. Koppinen
AU  - K. -P. Riikonen
AU  - K. Arutyunov
PY  - 2003
DO  - 10.1007/s00339-004-2709-8
UR  - https://arxiv.org/abs/cond-mat/0311383
ID  - cond-mat/0311383
ER  -