TY  - RPRT
TI  - Multiple layer local oxidation for fabricating semiconductor nanostructures
AU  - M. Sigrist
AU  - A. Fuhrer
AU  - T. Ihn
AU  - K. Ensslin
AU  - D. C. Driscoll
AU  - A. C. Gossard
PY  - 2004
DO  - 10.1063/1.1809273
UR  - https://arxiv.org/abs/cond-mat/0411129
ID  - cond-mat/0411129
ER  -