TY  - RPRT
TI  - A new apparatus for deep patterning of beam sensitive targets by means of high-energy ion beam
AU  - A. Rovelli
AU  - A. Amato
AU  - D. Botta
AU  - A. Chiodoni
AU  - R. Gerbaldo
AU  - G. Ghigo
AU  - L. Gozzelino
AU  - F. Laviano
AU  - B. Minetti
AU  - E. Mezzetti
PY  - 2005
DO  - 10.1016/j.nimb.2005.06.208
UR  - https://arxiv.org/abs/cond-mat/0503039
ID  - cond-mat/0503039
ER  -