TY  - RPRT
TI  - Electrical activation and electron spin coherence of ultra low dose antimony implants in silicon
AU  - T. Schenkel
AU  - A. M. Tyryshkin
AU  - R. de Sousa
AU  - K. B. Whaley
AU  - J. Bokor
AU  - J. A. Liddle
AU  - A. Persaud
AU  - J. Shangkuan
AU  - I. Chakarov
AU  - S. A. Lyon
PY  - 2005
DO  - 10.1063/1.2182068
UR  - https://arxiv.org/abs/cond-mat/0507318
ID  - cond-mat/0507318
ER  -