TY - RPRT TI - Concept of deterministic single ion doping with sub-nm spatial resolution AU - J. Meijer AU - T. Vogel AU - B. Burchard AU - I. Rangelow AU - L. Bischoff AU - J. Wrachtrup AU - M. Domhan AU - F. Jelezko AU - W. Schnitzler AU - S. A. Schulz AU - K. Singer AU - F. Schmidt-Kaler PY - 2006 DO - 10.1007/s00339-006-3497-0 UR - https://arxiv.org/abs/cond-mat/0508756 ID - cond-mat/0508756 ER -