TY  - RPRT
TI  - Dielectric Properties of Noncrystalline HfSiON
AU  - Masahiro Koike
AU  - Tsunehiro Ino
AU  - Yuuichi Kamimuta
AU  - Masato Koyama
AU  - Yoshiki Kamata
AU  - Masamichi Suzuki
AU  - Yuichiro Mitani
AU  - Akira Nishiyama
PY  - 2006
DO  - 10.1103/physrevb.73.125123
UR  - https://arxiv.org/abs/cond-mat/0601503
ID  - cond-mat/0601503
ER  -