TY  - RPRT
TI  - Characterization of a fabrication process for the integration of superconducting qubits and RSFQ circuits
AU  - Maria Gabriella Castellano
AU  - Leif Gronberg
AU  - Pasquale Carelli
AU  - Fabio Chiarello
AU  - Carlo Cosmelli
AU  - Roberto Leoni
AU  - Stefano Poletto
AU  - Guido Torrioli
AU  - Juha Hassel
AU  - Panu Helisto
PY  - 2006
DO  - 10.1088/0953-2048/19/8/030
UR  - https://arxiv.org/abs/cond-mat/0604547
ID  - cond-mat/0604547
ER  -