TY  - RPRT
TI  - Mechanical Dissipation in Silicon Flexures
AU  - S. Reid
AU  - G. Cagnoli
AU  - D. R. M. Crooks
AU  - J. Hough
AU  - P. Murray
AU  - S. Rowan
AU  - M. M. Fejer
AU  - R. Route
AU  - S. Zappe
PY  - 2005
DO  - 10.1016/j.physleta.2005.10.103
UR  - https://arxiv.org/abs/gr-qc/0504134
ID  - gr-qc/0504134
ER  -