TY  - RPRT
TI  - Extreme Ultraviolet (EUV) Sources for Lithography based on Synchrotron Radiation
AU  - G. Dattoli
AU  - A. Doria
AU  - G. P. Gallerano
AU  - L. Giannessi
AU  - K. Hesch
AU  - H. O. Moser
AU  - P. L. Ottaviani
AU  - E. Pellegrin
AU  - R. Rossmanith
AU  - R. Steininger
AU  - V. Saile
AU  - J. Wuest
PY  - 2001
DO  - 10.1016/s0168-9002(01)00887-7
UR  - https://arxiv.org/abs/physics/0103055
ID  - physics/0103055
ER  -