TY  - RPRT
TI  - Multilevel Clustering Fault Model for IC Manufacture
AU  - Yu. I. Bogdanov
AU  - N. A. Bogdanova
AU  - A. V. Rudnev
PY  - 2003
DO  - 10.1117/12.562667
UR  - https://arxiv.org/abs/physics/0310012
ID  - physics/0310012
ER  -