TY  - RPRT
TI  - Fabrication of micro-mirrors with pyramidal shape using anisotropic etching of silicon
AU  - Z. Moktadir
AU  - C. Gollasch
AU  - E. Koukharenko
AU  - M. Kraft
AU  - G. Vijaya Prakash
AU  - J. J. Baumberg
AU  - M. Trupke
AU  - S. Eriksson
AU  - E. A. Hinds
PY  - 2004
UR  - https://arxiv.org/abs/physics/0409021
ID  - physics/0409021
ER  -