TY  - RPRT
TI  - Benchmark of FEM, Waveguide and FDTD Algorithms for Rigorous Mask Simulation
AU  - S. Burger
AU  - R. Köhle
AU  - L. Zschiedrich
AU  - W. Gao
AU  - F. Schmidt
AU  - R. März
AU  - C. Nölscher
PY  - 2006
DO  - 10.1117/12.631696
UR  - https://arxiv.org/abs/physics/0601143
ID  - physics/0601143
ER  -