TY  - RPRT
TI  - Rigorous Simulation of 3D Masks
AU  - S. Burger
AU  - R. Köhle
AU  - L. Zschiedrich
AU  - H. Nguyen
AU  - F. Schmidt
AU  - R. März
AU  - C. Nölscher
PY  - 2006
DO  - 10.1117/12.687816
UR  - https://arxiv.org/abs/physics/0610218
ID  - physics/0610218
ER  -