TY  - RPRT
TI  - Rigorous FEM-Simulation of EUV-Masks: Influence of Shape and Material Parameters
AU  - J. Pomplun
AU  - S. Burger
AU  - F. Schmidt
AU  - L. Zschiedrich
AU  - F. Scholze
AU  - C. Laubis
AU  - U. Dersch
PY  - 2006
DO  - 10.1117/12.686828
UR  - https://arxiv.org/abs/physics/0610236
ID  - physics/0610236
ER  -