TY - RPRT TI - Quantum Interferometric Optical Lithography: Exploiting Entanglement to Beat The Diffraction Limit AU - Agedi N. Boto AU - Pieter Kok AU - Daniel S. Abrams AU - Samuel L. Braunstein AU - Colin P. Williams AU - Jonathan P. Dowling PY - 2000 DO - 10.1103/physrevlett.85.2733 UR - https://arxiv.org/abs/quant-ph/9912052 ID - quant-ph/9912052 ER -